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热室气体质量流量控制器(MFC)详细介绍

发布时间:2019-12-06 09:52:52   来源:    浏览次数:
   一、 产品概述 
   热式气体质量流量计的MS流量传感器具有测量微小、小流量的优势的MEMS( Microelectromechanical systems)气体质量流量计和流量控制器,主要应用于轻工、化工、环保及半导体等工业部门的空气、氧气、氩气、氮气等气体的检测和控制。热式气体质量流量控制器能替代浮子流量计、孔板流量计等流量计。其特点是可靠性高、重复性好,压损小,无可动部件,量程比宽,响应时间较快,测量精度高,无需要温度压力补偿。 
 
   二、技术参数(本产品按Q/320500HH009-2014进行生产、校验) 
   1.测量介质:各种气体(乙炔气和混合气体除外) 
   2.流量范围: DN3   100-1000ml/min 
                DN4   250-2500ml/min 
                DN6   1000-10000ml/min 
                DN8   1500-15000ml/min 
                DN10  2500-25000ml/min           
          
   3.测量的标准状态20℃,101.325kPa。 
   4.流量测量准确度:±1.5%FS 
   5.工作温度范围:0-55℃; 
   6.工作压力范围:0.3MPa,0.6MPa,1.0MPa`` 
   7.供电电源:24VDC±10%; 
   8.输出信号:4-20mA,RS485通讯; 
   9.环境温度:0-55℃; 
   10.显示位数:瞬时流量为三位,累积流量10位。
质量流量控制器
   深圳弗罗迈测控系统有限公司生产质量流量控制器气体质量流量控制器气体质量流量计、测量时不受气压、温度的影响,且产品种类多,有数字式、模拟式、普通型、高精度型、耐高压型,超大流量型可满足用户的不同需求选择。

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