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浅谈气体质量流量控制器的特点!

发布时间:2019-12-14 09:09:19   来源:    浏览次数:
    气体质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对于气体的质量流量进行精密测量和控制;气体质量流量计(Mass Flow Meter缩写为MFM)用于对于气体的质量流量进行精密测量。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工,冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
 
    气体质量流量控制器特点是:当流量控制器进口、出口压差变化时,通过流量控制器的流量恒定不变。 流量控制器的性能参数有:流量控制精度、工作压差范围、启动压差。
 
    1.流量控制精度:指的是流量控制器的控制流量的误差,行业标准中的误差要求小于等于8%,A类产品的误差小于等于5%。流量控制精度的高低取决于自力式流量控制阀的设计、加工和材质。
 
    2.工作压差范围:指的是当流量控制器进口、出口压差变化在多大范围时,能保持通过流量控制器的流量恒定不变。行业标准中规定工作压差范围0.03-0.3MPa,A类产品工作压差范围达到0.03-0.4MPa。工作压差范围的大小取决于自力式流量控制阀的设计。
气体质量流量控制器
    3.启动压差:指的是流量控制器达到设定流量时所需要的最小压差。这个参数是一个重要参数,它实际上就是工作压差范围中的最小压差值。按照行业标准工作压差的规定,这个启动压差是0.03MPa。启动压差的大小取决于流量控制器的设计和加工。
 
   深圳弗罗迈测控系统有限公司生产质量流量控制器气体质量流量控制器,气体质量流量计、测量时不受气压、温度的影响,且产品种类多,有数字式、模拟式、普通型、高精度型、耐高压型,超大流量型可满足用户的不同需求选择

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